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愛德萬電子束微影系統系列獲得3筆訂單

Oct 21st 2013, 09:37

【楊喻斐／台北報導】半導體測試設備領導者愛德萬測試今日宣布全新F7000電子束微影系統獲得3筆訂單，分別來自日本東京大學、京都大學與一家半導體客戶，預訂於2014年3月結束的會計年度內陸續完成交貨。

愛德萬積極布局新領域，這次獲得訂單的F7000系列利用電子束技術將精細接腳間距圖樣直接寫入基板，可為目前半導體研發所關注的1Xnm製程提供業界最高測試產能，此套系統同時自動清洗功能與調整器功能，前者可確保設備長期穩定運作效能，後者則支援不同尺寸、形狀、材料的基板測試。

愛德萬表示，目前這3家採用F7000系列的客戶除將此系統應用於半導體晶圓和其他類型與尺寸的基板研究範疇外，還將運用於MEMS/NEMS (非機電系統)、生物晶片、創新元件、電子零組件等領域的技術開發。

這3筆訂單對愛德萬意義深遠，堪稱跨入新市場，運用先進電子束微製造技術開創下一代電子元件研究發展的策略性成長里程碑。

圖為愛德萬測試全新F7000電子束微影系統系列照片。廠商提供

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